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삼성전자 반도체 공장설비의 배관진동기
반도체 질소가스 배관 등 절대환경이 필요한 장소의 배관 내부의 이물질 제거를 위한 배관 진동장치
고주파 진동으로 배관 이물질을 제거하여 공사기간을 단축
개발기간 : 2008년 ~ 2009년
관련기관 : 삼성건설 / SM Instruments
개발내용
가변 발진자 개발
: 유도기전력 발생 코일 Assy 개발
: 기전력과 평행을 이루는 Spring 해석
가진기 Controller 개발
: Aplitude/Frequency 조절 고주파 Vibration 제어모듈
: 설정값 모니터링을 위한 LCD 기판 적용
구조 특성
: 내부 냉각을 위한 통풍장치 적용
: Pipe 규격에 따른 부착면 형상 가공
제어 특성
: Acceleration Limit 기능, 시작/종료시간 설정 기능
: 전원상태 및 에러상태 모니터링 기능